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第45章 光刻机技术（第2页）

不愧是商业巨擘，很快就调整好了自己的心态。

“于董您好。”

“那请问，哪位是叶天明，叶博士啊？”

还处于震惊中的叶天明没想到杨辰一来就开口问他，人还一脸呆滞呢。

“这位就是叶博士。”

于成伟伸手拉了一下叶天明，后者才恍然。

“你……您好。”

他感觉自己有些不会说话了。

“叶博士，您好。”

杨辰伸出手。

“您好。”

“叶博士，我看了您技术资料，说实话，您是真了不起。”

“竟然可以用瑞利判据，将光的衍射角做到那种程度。”

“不断使得加速电压U增大大，电子束波长λ就越小，最后极限衍射θ角就越小。”

“您这是走的绕开了EUV的光源，试图用电子束来进行替代，并且取得了很不错的成效。”

“实在是一个很了不起的工作。”

杨辰赞叹道。

行家一出口，就知有没有！

叶天明听到杨辰的话心中一震。

这正是他研究的方向！

电子束光刻机。

不仅仅可以避开极紫外光的制造问题，还能一定程度的降低超高要求的镜片模组问题。

追赶西方是赶不上了，只能想办法弯道超车！

“叶博士，我已经将您的研究资料看完了，并且就其中的难点进行了一点点技术攻克。”

叶天明傻眼了。

于成伟等人懵逼了。

他看完了技术资料，还该进了？

换句话说，也就是他解决了现存的技术难题？

“我们先去生产线和实验室看看吧，后面再细谈这些技术细节。”

众人的震惊他尽收眼底。

或许在别人看来这个东西很困难，但是，他有道爷啊。

光的极限衍射问题最大的障碍就是超高的加速电压！

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目前能支撑研究的电压不超过百万伏特。

可是，自己弄出来了可控核聚变的啊！

至于高精度的钼或者硅反射镜，这些还是在“成像”雕刻的原理上需要的。

可他要的不仅仅是成像雕刻，他需要的是从分子级别来进行组建的碳基芯片的光刻机。

是可以制造一个“活着”的芯片的光刻机。

在于成伟的带领下，杨辰仔细查看了他们生产线和研发室。

心中大定！

还好，基本不会大动太多，稍加改造应该可以满足自己的需求！

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