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第417章 验证 领先 突发（第1页）

沈院士抬手扶了扶眼镜，目光在新光源设备与光刻机的衔接处停留片刻，语气带着审慎的期待：“这套激光诱导放电等离子体光源，理论参数确实亮眼，但实际应用效果还需数据说话。良率能稳定在90%以上，就算初步成功。”

楚千澜微微颔首，目光落在屏幕上跳动的实时监测数据：“开始吧，重点记录光源稳定性、光刻精度和晶圆良率三项核心指标。”

王世杰抬手示意，技术人员立即按下启动按钮。

新光源设备发出低沉的嗡鸣，淡紫色的光束透过光学镜头，精准投射到晶圆表面，线条勾勒比原有光源更加锐利清晰。

屏幕上的参数曲线瞬间跳动：光源功率波动控制在±0.3%以内，线宽误差稳定在±0.003微米，各项数据均优于原先193纳米光源的表现。

“太惊人了！”一名年轻工程师忍不住低呼，“同等条件下，光刻精度比之前提升了50%以上，光源衰减速度也慢了很多，连续工作十几分钟，参数没有任何漂移！”

沈院士脸上露出欣慰的笑容，指尖轻轻敲击观察窗玻璃：“这不仅是光源技术的突破，更是打破国外垄断的关键一步。

有了自主可控的光源系统，后续45纳米、28纳米光刻机的研发，再也不用受制于人了。”

王世杰在一旁解释道，“这套极紫外光源设备的波长是40纳米，还有提升空间。各种性能应该远超国外的193纳米的深紫外光源设备。

按照我们的估算，完全满足生产20纳米制程芯片的条件。至于能否生产更先进制程的芯片，还要进一步观察。”

“40纳米？”沈院士惊叹了一声，“你们这台设备的参数，已经超越了市面上所有设备，若是能够稳定运转，那就是国际最先进水准！”

作为深耕半导体技术的龙科院院士，自然清楚光源设备是一台光刻机的核心，更清楚国内与国外光源设备的差距。

深蓝半导体研发出的这套光源设备，已经打破国外技术的垄断。

楚千澜凝视着屏幕上稳定跳动的参数，指尖在观察窗边缘轻轻摩挲：“40纳米只是起点，以后还要继续整合。按照理论，光源波长应该在10至14纳米之间。

不过，现在的波长已经足够我们使用，整合波长的事情可以暂时放缓。”

王世杰眼中闪过一丝炽热：“楚总，您是说要冲击极紫外光的核心波长？我们已经抽掉了部分研发人员专门攻克这个方向。只是想要获得稳定的光源，还需要不短的时间！”

沈院士在一旁附和：“有了自主光源技术，深蓝半导体的光刻机研发才算真正摆脱对外依赖。

龙科院可以协调国内光学厂商，批量生产这套光源设备，不仅能满足自身需求，还能向其他科研机构供货，推动整个行业的技术升级。”

楚千澜指尖轻叩观察窗：“批量生产的事情可以后续规划，当前首要任务是确认设备生产效果以及保障45纳米光刻产线的研发进度。”

说到这里，他转头看向王世杰，“王总，现在良率如何？”

王世杰指尖在数据平板上快速滑动，语气带着难掩的振奋：“楚总，刚完成三轮小批量测试！使用新光源的180纳米光刻机，晶圆良率稳定在97.7%，比原有光源提升了3.5个百分点！而且连续运转两小时后，良率波动仅0.1%，稳定性远超预期。”

他将平板递到楚千澜与沈院士面前，屏幕上清晰呈现着良率曲线与参数对比图：“您看，线宽均匀度、边缘粗糙度等关键指标，都比国际同类型设备高出一截。

刚才我们还做了极限测试，即便将光刻速度提升30%，良率依旧能维持在88%以上，完全满足量产需求。”

沈院士俯身细看数据，眼中满是惊叹：“97.7%的良率，这在国产光刻机中是前所未有的突破！有了这个基础，45纳米光刻产线的研发就能少走很多弯路。”

楚千澜指尖划过平板上的良率曲线，眸色沉静却难掩锋芒：“良率达标只是第一步，接下来要重点验证光源设备的稳定性以及与其他光刻设备的适配性。”

他的话音刚落，刺耳的警报声瞬间打破车间的喜悦氛围，所有人的目光齐刷刷投向新光源设备的控制面板。

屏幕上弹出醒目的红色警告：“光束聚焦偏移，误差值超出安全阈值！”

王世杰脸色骤变，快步冲到操作台前，指尖在键盘上飞速敲击，试图修正参数：“怎么会突然偏移？刚才的稳定性测试明明毫无问题！”

张北光紧急调取实时监测数据，声音带着些许慌乱：“王总，是光学镜头的温度补偿模块出现异常！连续高负荷运转后，镜头热胀冷缩导致光路偏移，现在偏移量已经达到0.01微米，超出光刻允许的误差范围！”

沈院士眉头紧锁，扶着观察窗的手指微微收紧：“热稳定性还是没过关？极紫外光源的高能量特性本就容易导致部件发热，这是行业通病，但没想到会在这个节点爆发。”

楚千澜神色未变，目光紧紧锁定屏幕上跳动的偏移曲线：“别急，先切断光源输出，冷却设备后排查问题根源。”

张北光忽然说道，“这套光源的温度补偿算法是按实验室环境设计的，量产场景下的持续发热超出预期，必须优化散热结构和算法参数。”

王世杰立即下达指令，技术人员迅速响应，关闭光源，启动强制冷却系统。

淡紫色的光束逐渐熄灭，设备发出的嗡鸣也慢慢减弱，控制面板上的温度数值开始缓慢下降。

王世杰擦了擦额头的冷汗，语气带着些许后怕，“我们之前的测试时长最多只有一小时，没考虑到连续量产时的持续发热问题。光学镜头的散热通道设计得太保守，热量无法快速导出。”

虽然还没有进行全面检查，但故障原因已经基本确认。

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