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第418章 故障 再次售卖(第1页)

楚千澜凝视着控制面板上缓慢回落的温度数值,指尖轻叩观察窗边缘,语气异常平静:“故障现在暴露,总比量产时出问题要好。”

他抬手示意技术人员调出设备结构图,指尖在屏幕上勾勒出改进方案:“可以在镜头周边增加微型散热鳍片,同时优化温度补偿算法,根据实时温度数据动态调整光路参数,抵消热胀冷缩带来的偏移。

另外,给光源设备加装独立的恒温控制系统,将工作环境温度波动控制在±0.5℃以内,从根源上减少热变形的影响。”

沈院士看着楚千澜快速给出的解决方案,眼中闪过赞许:“这个思路可行!微型鳍片+动态补偿+恒温控制,三重保障应该能解决热稳定性问题。

龙科院可以协调光学材料专家,帮忙优化散热鳍片的材质和结构,提升导热效率。”

冷却系统运转半小时后,设备温度恢复正常。

张北光按照楚千澜的方案临时调整参数,重新启动光源设备。

这一次,光束聚焦偏移量被稳定控制在±0.002微米以内,警报再也没有响起。

王世杰长舒一口气,脸上重新露出笑容:“楚总,调整后效果显着!现在连续运转半小时,各项参数依旧稳定,热稳定性问题算是暂时解决了。”

楚千澜微微颔首,语气带着严谨:“暂时解决不代表一劳永逸。让研发团队成立专项小组,针对热稳定性做为期一周的连续测试,模拟量产场景下的各种极端工况,务必让设备达到工业级量产标准。”

王世杰重重点头,迅速在平板上记录核心指令:“明白!我这就组建专项测试小组,覆盖高温环境、长时间满负荷运转、频繁启停等七种极端工况,每小时记录一次参数,形成完整的稳定性报告。”

沈院士俯身查看调整后的实时数据,光束聚焦偏移曲线平稳得如同水平线,眼中满是欣慰:“没想到这么快就能稳住,楚总的方案确实精准。

不过,极紫外光源的高能量特性还可能带来其他隐患,比如光学镜头的损耗速度、等离子体对腔体的腐蚀,这些都得纳入长期测试范围。”

楚千澜指尖轻叩观察窗,目光扫过光源设备的核心腔体:“沈院士提醒得对。让材料团队同步跟进,分析镜头涂层的抗损耗性能,评估腔体材料的耐腐蚀等级。

如果现有材料无法满足长期量产需求,立刻联合星源探索,启动替代材料研发。”

星源探索此时的研发团队已经非常庞大,仅仅材料研发就有十几支团队。

有女娲系统的协助,可以在最短时间内解决深蓝半导体的需求。

随着设备持续稳定运转,车间内的紧张氛围逐渐消散。

技术人员们各司其职,记录数据、监测参数,脸上都洋溢着兴奋。

新光源设备投射出的淡紫色光束如同精准的画笔,在晶圆表面勾勒出细密的电路纹路,每一道线条都均匀锐利,远超原有光源的表现。

两小时后,第四轮小批量测试完成。

王世杰刷新数据平板,声音带着抑制不住的激动:“楚总、沈院士,最新测试结果出来了!晶圆良率稳定在97.8%,线宽误差控制在±0.0025微米,连续运转四小时无任何参数漂移,热稳定性完全达标!”

他调出测试报告,屏幕上清晰显示:“光学镜头损耗率仅0.01%千片晶圆,腔体腐蚀程度低于行业标准30%,各项指标均满足工业级量产要求。”

沈院士看着报告上亮眼的数据,忍不住赞叹:“这已经不是初步成功,而是完全具备量产条件了!

有了这套自主光源设备,深蓝半导体的180纳米光刻机产能至少能提升40%,良率再上一个台阶,后续45纳米光刻产线的研发也有了坚实基础。”

楚千澜脸上露出一丝淡笑,“光源设备量产是要提上日程了,但这180纳米光刻机提升产能就不需要了。

待到45纳米光刻产线完成研发,公司就没必要再维持这条180纳米的落后产线了!”

这条产线是深蓝半导体最早购买的光刻机,但制程并不是特别先进,再加上国外半导体巨头的围剿,公司订单根本不足以维持180纳米光刻机的运转。

王世杰握着数据平板的手指微微一顿,随即了然点头:“楚总说得对,180纳米制程的产线一直亏损,确实没有继续维持下去的必要!”

沈院士眸光闪烁:“楚总是准备出售180纳米光刻机吗?我可以帮忙牵线搭桥!”

180纳米光刻机放在深蓝半导体属于落后产能,但在龙国其他芯片代工厂中,还属于生产芯片的中坚力量。

若非如此,之前那台250纳米制程的光刻机,也不会卖出5000万的价格。

楚千澜微微颔首:“出售确实是最优解。不过,这套180纳米光刻机是正常购入的设备,对外出售不需要隐瞒信息。”

上次出售的250纳米光刻机是深蓝半导体自己复刻的,没有合法身份,自然不好光明正大的出售。

这套180纳米光刻设备虽然获得的过程有些问题,但并不妨碍正常转售给其他公司。

沈院士眼中闪过一丝亮色:“光明正大出售最好!龙国还有不少专注于功率芯片、模拟芯片的厂商,180纳米制程对他们来说完全够用,而且自主光源加持后的设备良率和稳定性,比他们现在用的老旧设备强太多,肯定会抢着要。”

楚千澜却摇了摇头,“这套180纳米光刻机搭载原有光源设备!新开发的极紫外光源设备还要完善,在我们研发的45纳米光刻产线完成前,不会对外公开。

想必购买光刻机的厂家,也不会为了几个点的良率,增加大量的预算。”

极紫外光源虽然还没有正式上市,但价格肯定极高。用在180纳米光刻机上,肯定难以收回成本。

沈院士闻言恍然大悟,随即点头认同:“楚总考虑得周全!极紫外光源技术刚突破,成本必然居高不下,搭载在180纳米光刻机上确实得不偿失。”

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